半導體設備
晶片(膜片)檢測設備|AXIS 3200

AXIS 3200 為專業自動化晶片及膜片外觀檢測設備,適用於半導體元件或精密電子零件之檢測流程中,可自動偵測元件表面瑕疵、污點及外觀不良。設備結構穩定且操作直覺,支援高速連續檢測並可整合於後段製程檢查產線中,以提升品質控管效能與生產一致性。

產品概述

影像偵測技術可對密封在壓花膠帶中的工件進行目視檢測。

  • 循環時間:每件0.25秒
  • 單台機器可處理多種產品
  • 六面目視檢測功能,側紅外線檢測(選購)
  • 支援MAP數據,支援等級分類
  • 自動儲存配置切換,托盤儲存/片材應用

產品規格

  • 工件尺寸:標準0.7x0.7至7x7(可選配更小和更大的尺寸)
  • 晶圓尺寸:6/8吋晶圓環(可選配12吋)